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Vakuum Servis
真空设备整合项目的 Total Solution
Vacuum service Ltd. 在真空技术、真空沉积和氦检漏仪领域已有 30 多年的经营历史。 该公司专门提供真空技术的系统整合服务,提供真空设备现代化和泄漏检测服务。 并可为客户生产客制化真空系统。
典型产品:
1.UHV degassing Furnaces/Ovens (半导体行业材料专业热处理设备)
•高质量 UHV 脱气系统
•脱气后材料达到超纯度
•适用于不同材料的UHV高达1300°C的热处理(脱气、真空焊接、退火等)
•直径为 450mm*600mm 的加热室中的极限真空优于 8e-8mbar
•搭配普发(Pfeiffer)真空无油泵系统,配备涡旋泵和涡轮分子泵
•配置攀时(Plansee)设计的钼加热系统
•温度设定点精度达到 2°C
•可配置多达 3 个加热区
•带触摸屏的西门子Simatic 控制系统
•完全可配置的系统(尺寸、参数等)
![](../../product/pics/20240108/202401081704703796915.jpg)
UHV degassing furnace VSF450
![](../../product/pics/20240108/202401081704703815466.jpg)
![](../../product/pics/20240108/202401081704703822899.jpg)
Model of system
2.Industrial UHV cleaning station (带 RGA 分析的UHV 清洁站)
•样品的 UHV 使用资格及详细协议
•加热至200°C
•等离子清洁选项
•定制腔体尺寸
![](../../product/pics/20240108/202401081704703849499.jpg)
![](../../product/pics/20240108/202401081704703857291.jpg)
3.Classic universal coating system
![](../../product/pics/20240108/202401081704703876674.jpg)
4.Helium Leak Detection Systems (氦气泄漏检测系统 HLDS)
•为汽车和暖通空调客户提供最先进的HLDS。
•30 年 HLDS 经验
•灵敏度高可检测微小泄漏
•配备普发真空检漏仪ASM 340、ASI35、ASM 306等。
•全自动或半自动化解决方案、整合生产线、提高 cycle time
•包含真空测试(Vacuum Test)、轰炸测试(Bombing Test)、嗅探测试(Sniffing Test)
![](../../product/pics/20240108/202401081704703899298.jpg)
HLDS for high pressure AC components
![](../../product/pics/20240108/202401081704703909673.jpg)
Parallel HLDS configuration for Valve leak testing
![](../../product/pics/20240108/202401081704703918235.jpg)
Visualisation and chamber inside
![](../../product/pics/20240108/202401081704703926964.jpg)
Integration into Robotic line