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Vakuum Servis
真空设备整合项目的 Total Solution
Vacuum service Ltd. 在真空技术、真空沉积和氦检漏仪领域已有 30 多年的经营历史。 该公司专门提供真空技术的系统整合服务，提供真空设备现代化和泄漏检测服务。 并可为客户生产客制化真空系统。
典型产品：
1.UHV degassing Furnaces/Ovens (半导体行业材料专业热处理设备)
•高质量 UHV 脱气系统
•脱气后材料达到超纯度
•适用于不同材料的UHV高达1300°C的热处理（脱气、真空焊接、退火等）
•直径为 450mm*600mm 的加热室中的极限真空优于 8e-8mbar
•搭配普发(Pfeiffer)真空无油泵系统，配备涡旋泵和涡轮分子泵
•配置攀时(Plansee)设计的钼加热系统
•温度设定点精度达到 2°C
•可配置多达 3 个加热区
•带触摸屏的西门子Simatic 控制系统
•完全可配置的系统（尺寸、参数等）
UHV degassing furnace VSF450
Model of system
2.Industrial UHV cleaning station (带 RGA 分析的UHV 清洁站)
•样品的 UHV 使用资格及详细协议
•加热至200°C
•等离子清洁选项
•定制腔体尺寸
3.Classic universal coating system
4.Helium Leak Detection Systems (氦气泄漏检测系统 HLDS)
•为汽车和暖通空调客户提供最先进的HLDS。
•30 年 HLDS 经验
•灵敏度高可检测微小泄漏
•配备普发真空检漏仪ASM 340、ASI35、ASM 306等。
•全自动或半自动化解决方案、整合生产线、提高 cycle time
•包含真空测试(Vacuum Test)、轰炸测试(Bombing Test)、嗅探测试(Sniffing Test)
HLDS for high pressure AC components
Parallel HLDS configuration for Valve leak testing
Visualisation and chamber inside
Integration into Robotic line