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SPEC 美国
典型产品:
1, 湿法工艺设备
可适用于多种溶剂,高产能处理能力;50片硅片每批次自动传送到溶剂中,温度可控,
进行曝光去光阻等工艺。精确的刻蚀和去光刻胶能力,能提高化学液的使用时间。特有的IPA技术保障足够的干法,模块化的设计,FM4910塑料材料,能兼容各种溶剂;
应用:
光阻去除清洁,乙醇胺刻蚀,光刻胶显影
特点:
不锈钢,PC,PLC控制的触摸屏界面,HEPA或ULPA空气过滤接口,CO2安全系统,自动化学品补液,工艺菜单可选
SEMI S2, S8标准,SECS/GEM兼容
2, 电镀,化学镀设备
自动晶圆盒传送,SMIF,FOUP兼容,单片或批次处理,溶液自动混合,最长生命周期;可在Al,Cu等材料上进行电镀Au, Cu, Ni, Sb, Pd工艺。
应用:
晶圆凸块,IC电镀
特点:
高效率,低用水量;可降低副产物处理要求,可和湿法工艺兼容,化学溶剂在线或远程补液能力。
产品详情:
