典型产品：

1，  湿法工艺设备

可适用于多种溶剂，高产能处理能力；50片硅片每批次自动传送到溶剂中，温度可控，

进行曝光去光阻等工艺。精确的刻蚀和去光刻胶能力，能提高化学液的使用时间。特有的IPA技术保障足够的干法，模块化的设计，FM4910塑料材料，能兼容各种溶剂；

应用：

光阻去除清洁，乙醇胺刻蚀，光刻胶显影

特点：

不锈钢，PC,PLC控制的触摸屏界面，HEPA或ULPA空气过滤接口，CO2安全系统，自动化学品补液，工艺菜单可选

SEMI S2, S8标准，SECS/GEM兼容

2，  电镀，化学镀设备

自动晶圆盒传送，SMIF，FOUP兼容，单片或批次处理，溶液自动混合，最长生命周期；可在Al,Cu等材料上进行电镀Au, Cu, Ni, Sb, Pd工艺。

应用：

晶圆凸块，IC电镀

特点：

高效率，低用水量；可降低副产物处理要求，可和湿法工艺兼容，化学溶剂在线或远程补液能力。