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InterLitho

典型产品:

1. VIL 1000 全自动步进重复式激光干涉 (Laser Interference) 光刻机

应用:

光学(LED, 图案化蓝宝石衬底, AR 眼镜)相关领域蚀刻

特点:

全自动光路重构、动态锁相、高精度步进重复曝光

最小线宽低于50纳米

快速光路重构(一维线栅和纳米点、孔、棒、棋盘格等二维阵列)

全自动化参数设置

特征尺寸调制

动态锁相系统(AIPS)

典型产品:

2. HIL 1000 晶圆级大面积激光干涉 (Laser Interference) 光刻机

应用:

光学(LED, 图案化蓝宝石衬底, AR 眼镜)相关领域蚀刻

特点:

单次曝光实现晶圆级纳米结构

最小线宽低于50纳米

快速光路重构(一维线栅和纳米点、孔、棒、棋盘格等二维阵列)

特征尺寸调制

典型产品:

3. CIL 1000 桌上经济型激光干涉 (Laser Interference) 光刻机

应用:

光学(LED, 图案化蓝宝石衬底, AR 眼镜)相关领域实验室

特点:

桌上型设备,体积小,适合实验室及小型量产

Computer-controlled

Centimeter-Scale pattern siz

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