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产品详情
SPEC 美国

典型产品:

 

1,  湿法工艺设备

可适用于多种溶剂,高产能处理能力;50片硅片每批次自动传送到溶剂中,温度可控,

进行曝光去光阻等工艺。精确的刻蚀和去光刻胶能力,能提高化学液的使用时间。特有的IPA技术保障足够的干法,模块化的设计,FM4910塑料材料,能兼容各种溶剂;

 

应用:

光阻去除清洁,乙醇胺刻蚀,光刻胶显影

特点:

不锈钢,PC,PLC控制的触摸屏界面,HEPAULPA空气过滤接口,CO2安全系统,自动化学品补液,工艺菜单可选

SEMI S2, S8标准,SECS/GEM兼容

 

2,  电镀,化学镀设备

自动晶圆盒传送,SMIFFOUP兼容,单片或批次处理,溶液自动混合,最长生命周期;可在Al,Cu等材料上进行电镀Au, Cu, Ni, Sb, Pd工艺。

应用:

晶圆凸块,IC电镀

特点:

高效率,低用水量;可降低副产物处理要求,可和湿法工艺兼容,化学溶剂在线或远程补液能力。

 

产品详情:

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