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Memsstar 英国

典型产品:

1,   memsstar Lab, Sentry & Multi 设备 

应用:HFXeF2干法释放,SAM单分子层沉积

特点:干法释放技术是替代释放工艺的下一代mems技术,从而避免产生粘附。同时SAM单分子层沉积能改变mems结构表面特性,可选择防水膜,亲水膜等。memsstar设备能从研发R&D扩展到大规模量产,而且平台可升级,能照顾到投资的不同阶段。我们开发了下一代的技术,拥有诸多专利技术,比如提高了和SiN的选择比,有实时的终点监控。可兼容48寸的晶圆,采用单片工艺,拥有业界最高的良率和均匀性工艺指标。

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