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scia Systems 德国

典型产品:

 1,  scia Mill 150 离子铣150

scia Mill 150是离子束刻蚀,最大到6寸硅片,通过自动传送平台,晶圆背面有氦冷,角度可调节和旋转

应用范围:

Mems和传感器

金属和介质层图形处理 

特点:

大面积离子束刻蚀,使用惰性气体

水冷氦冷背面夹具

2scia Trim 200离子束修频

离子束修频能精确控制硅片表面薄膜的厚度,适用于量产,应用业界标准的晶圆传送系统。可扩展至多腔室,业界市占率最高。

应用范围:

BAWSAW芯片的修频

特点:

对焦的宽离子源,可调节焦点大小

全晶圆表面扫描,通过计算不同位置的停留时间长短来精确控制所需去除的材料厚度

 

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